LPPS-Hibrit sistemleri kullanan kaplamalar, geleneksel termal püskürtme işlemleri ile ince film (PVD, CVD) süreçleri arasındaki boşluğu kapatır.
| Aşağıdaki unsurlar bu sistemi oluşturur: |
| -Dikey yönlendirilmiş vakum odası |
| -Geniş alanları kaplamak için çok uzun plazma jeti |
| -Geleneksel LPPS’den çok daha düşük çalışma basınçları kullanır |
| LPPS-Hybrid sistemleri, üç farklı rejim dahilinde kaplama üretebilir: |
| PS-PVD (Plazma Sprey-PVD) belirli hammadde türlerini buharlaştırmak için yüksek tabanca entalpisi kullanarak kalın, sütun yapılı YSZ kaplamaları (100 ila 300 µm) üretebilir. |
| PS-CVD (Plazma Sprey-CVD) hammadde olarak gazlı öncüler için sıvı kullanarak daha yüksek birikim hızlarında CVD benzeri kaplamalar (<1 ila 10 um) üretmek için 0,5 mbar’ın altında çalıştırılan modifiye edilmiş geleneksel termal sprey bileşenlerini kullanır. |
| PS-TF (Plazma Püskürtme-İnce Film) klasik bir termal püskürtme yaklaşımı kullanarak, ancak yüksek hız ve entalpi kullanarak sıvı splatlardan ince, yoğun tabakalar üretebilir. |
| LPPS Teknolojisi | ||||
| VPS / LPPS | PS-PVD | PS-CVD | PS-TF | |
| Oda Basıncı | 50 mbar | 1 mbar | 0.5 mbar | 1 mbar |
| Hammadde | Metals | Ceramics | Liquid & Gaseous Precursors | Metals, Ceramics |
| State of Deposit | Liquid | Vapor | Vapor | Liquid |
| Kaplama Numunesi | MCrAlY | YSZ | SiOx | LSM |
BRO-0005.6 An Introduction to Thermal Spray (EN)
